高抵抗測定にSMUを使用する事はできますか？

更新しました Jun 16, 2021

使用製品

ハードウェア

  • PXIe-4141

ドライバ

  • NI-DCPower

問題

PXIe-4141を使用して30 mVを印加し、1 MOhmの抵抗を測定したいと考えています。可能でしょうか？

解決策

30 mVを印加し、1 MOhmの抵抗を測定する場合、電流は10 nAとなる為、一般的にノイズの影響を受ける計測となります。十分なシールドを施し、アパーチャータイムを長めにとる事で信号を積算すればPXIe-4141による測定は可能な場合はあります。

ただし、このレベルの電流の測定はノイズが乗る為、より計測精度の高いDMMを使用する方が良い場合があります。また、SMUの電圧印加の精度はPXIe-4141の場合、レンジが10 Vとなっており、確度だけでも少なくとも0.015 %の誤差が生じる為、30 mVの電圧印加についてもどの程度正確な電圧を印加できているかを別途DMMを使用して確認する事で計測している抵抗値をより正確に計算できます。

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